プラズマエッチング

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年6月
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