プラズマエッチング

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年10月
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