プラズマエッチング

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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