プラズマエッチング

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年10月
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