データーロガー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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