データーロガー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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