データーロガー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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