データーロガー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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