データーロガー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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