データーロガー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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