データーロガー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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