データーロガー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
2026年6月
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