データーロガー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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