データーロガー

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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