データーロガー

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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