データーロガー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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