データーロガー

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  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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