データーロガー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930