データーロガー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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