データーロガー

  1. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  2. 超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R

  3. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  4. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  5. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  6. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  8. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  9. ドライポンプ/メカブポンプ・樫山/アルバック・SD60V II/PMB001CM

    ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…

  10. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  2. サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012

  3. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  4. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  6. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

  7. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  10. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

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