データーロガー

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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