データーロガー

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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