データーロガー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728