データーロガー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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