データーロガー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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