データーロガー

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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