データーロガー

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  2. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

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  4. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  6. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

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  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…

  1. オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K

  2. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  3. マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B

  4. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

  5. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  6. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

  7. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  8. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  9. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

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