データーロガー

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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