データーロガー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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