データーロガー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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