データーロガー

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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