データーロガー

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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