データーロガー

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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