データーロガー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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