データーロガー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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