データーロガー

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年5月
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