データーロガー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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