データーロガー

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  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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