データーロガー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年5月
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