データーロガー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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