データーロガー

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  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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