データーロガー

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  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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