データーロガー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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