データーロガー

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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