データーロガー

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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