データーロガー

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  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

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  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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