データーロガー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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