データーロガー

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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