データーロガー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. RF電源　RFPP　RF10S
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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