データーロガー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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