データーロガー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年1月
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