データーロガー

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  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年6月
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