データーロガー

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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