データーロガー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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