データーロガー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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