データーロガー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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