データーロガー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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