データーロガー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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