データーロガー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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