データーロガー

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  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

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  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

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  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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