データーロガー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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