データーロガー

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  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

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  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

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  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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