データーロガー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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