テープマウンター

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  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年10月
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