スクリューポンプ

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. RF電源　RFPP　RF10S
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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