クロスシェクションポリッシャー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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