カーブトレーサー
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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