カーブトレーサー

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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