カーブトレーサー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年11月
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