カーブトレーサー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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