カーブトレーサー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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