カーブトレーサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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