カーブトレーサー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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