カーブトレーサー

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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