カーブトレーサー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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