カーブトレーサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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