カーブトレーサー

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
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