カーブトレーサー

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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