カーブトレーサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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