カーブトレーサー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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