カーブトレーサー

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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