カーブトレーサー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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