カーブトレーサー

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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