カーブトレーサー

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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