カーブトレーサー

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  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

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  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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