カーブトレーサー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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