カーブトレーサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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