カーブトレーサー
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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