カーブトレーサー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年2月
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