カーブトレーサー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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