カーブトレーサー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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