カーブトレーサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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