カーブトレーサー

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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