カーブトレーサー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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