カーブトレーサー
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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ダイサー ディスコ DAD522
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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