カーブトレーサー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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