カーブトレーサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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