カーブトレーサー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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