カーブトレーサー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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