カーブトレーサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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