カーブトレーサー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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