カーブトレーサー

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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