カーブトレーサー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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