カーブトレーサー

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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