カーブトレーサー

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年6月
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