カーブトレーサー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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