カーブトレーサー

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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