カーブトレーサー

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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