カーブトレーサー

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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