イナートガスオーブン

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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