イナートガスオーブン

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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