イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年12月
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