イナートガスオーブン

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年11月
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