イナートガスオーブン

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年1月
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