イナートガスオーブン

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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