イナートガスオーブン

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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