イナートガスオーブン

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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