イナートガスオーブン

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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