イナートガスオーブン

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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