イナートガスオーブン

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年6月
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