イナートガスオーブン

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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