イナートガスオーブン

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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