イナートガスオーブン

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  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2025年12月
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