イナートガスオーブン

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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