イナートガスオーブン

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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