イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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