イナートガスオーブン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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