イナートガスオーブン

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年6月
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