イナートガスオーブン

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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