イナートガスオーブン

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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