イナートガスオーブン

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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