イナートガスオーブン

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年5月
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