イナートガスオーブン

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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