イナートガスオーブン

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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