イナートガスオーブン

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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