イナートガスオーブン

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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