イナートガスオーブン

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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