イナートガスオーブン

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年1月
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