イナートガスオーブン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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