イナートガスオーブン

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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