イナートガスオーブン

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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