イナートガスオーブン

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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