イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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