イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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