イナートガスオーブン

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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