イナートガスオーブン

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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