イナートガスオーブン

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930