イナートガスオーブン

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  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

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  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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