イナートガスオーブン

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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