イナートガスオーブン

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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