イナートガスオーブン

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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