イナートガスオーブン

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年2月
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