イナートガスオーブン

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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