イナートガスオーブン

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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