イナートガスオーブン

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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