イナートガスオーブン

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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