イナートガスオーブン

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年2月
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