イナートガスオーブン

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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