イナートガスオーブン

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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