イナートガスオーブン

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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