イナートガスオーブン

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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