イナートガスオーブン

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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