イナートガスオーブン

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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