イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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