イナートガスオーブン

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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