イナートガスオーブン

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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