イナートガスオーブン

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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