イナートガスオーブン

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  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

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  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

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  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
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