イナートガスオーブン

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  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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