イナートガスオーブン

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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