イナートガスオーブン

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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