イナートガスオーブン

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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