イナートガスオーブン

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
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