イナートガスオーブン

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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