イナートガスオーブン

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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