イナートガスオーブン

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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