イナートガスオーブン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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