イナートガスオーブン

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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