イナートガスオーブン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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