イナートガスオーブン

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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