イナートガスオーブン

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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