イナートガスオーブン

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  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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