イナートガスオーブン

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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