イナートガスオーブン

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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