イナートガスオーブン

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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