イナートガスオーブン

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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