イナートガスオーブン

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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