イナートガスオーブン

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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