イナートガスオーブン

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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