イナートガスオーブン

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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