イナートガスオーブン

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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