イナートガスオーブン

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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