イナートガスオーブン

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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