イナートガスオーブン

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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