イナートガスオーブン

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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