イナートガスオーブン

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

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  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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