アライメント装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年10月
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