1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-150000A-V　[M240629A02]

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式SPB-DB668

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX1000 – [M221125A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG220FCAB-[M241210A10]

  8. 膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-6000-[M240906A19]

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　XDS35i-[M240628A06]

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M241127A01]

  11. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104A09]

  12. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  13. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  14. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製-[M240517A03]

  15. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M240906A17]

  16. 双腕スカラロボット-協働ロボット　川崎重工　duAro

  17. 恒温槽　日測エンジニアリング　BC-C5P-150

  18. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　INS-4040

  19. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  20. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP150-[M240320A02]

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