1. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240310A07]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS1500F-VW-[M240200A02]

  5. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

  6. CO2インキュベーター　サンヨー製　MCO-96-[M230718A07]

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A17]

  8. スピンコーター　ミカサ製　MS-B100-[M240310A09]

  9. 引張圧縮試験機　ORIENTEC（オリエンテック）STA-1150-[M231120A20]

  10. クリーンベンチ　昭和科学　S-1300WV-[M240209A01]

  11. X線分析装置　SII　SEA2120L-[M230512A07]

  12. ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

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