1. ドラフトチャンバー　ヤマト科学　MS-70

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 中真空用バキュームゲージ　岡野製作所　AVG134C11

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ　M-923HG

  11. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  12. 圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ　オリオン機械　ACU600-MD

  13. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック機工　DAU-100

  14. 低温恒温槽　タバイエスペック　LU-112T

  15. 恒温槽　アドバンテック　DRM320DA

  16. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  17. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  18. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  19. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-7000

  20. 低温恒温恒湿槽-安定性試験機　エスペック　CSH-132

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