1. 樹脂材料タンク・松井製作所・TA-95L（M201223A02）

    樹脂材料タンク　松井製作所製
    型式：TA-95L （M201223A02）
  2. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所
    型式：JL4-5VC-J （M201223A04）
  3. エアーコンプレッサー（スクロールコンプレッサー）・コベルコ・ES15AD-5 II（M210126A01）

    エアーコンプレッサー（スクロールコンプレッサー）
    コベルコ　型式：ES15AD-5 II （M210126A01）
  4. ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー）・アルバック・C30V（M210108）

    ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック　C30V [M210108A21]
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U22H・M210108A34

    クライオポンプ　アルバック製
    型式：CRYO-U22H （M210108A34）
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製
    型式：CRYO-U6H （M210320A04）
  7. ターボ分子ポンプ・ライボルト・ロータリーポンプ／メカニカルブースターポンプ・ライボルト

    ターボ分子ポンプ　ライボルト製（Leybold）
    型式：TW70H （M200714A14）
  8. ターボ分子ポンプ・島津製作所・TMP280・M200714A15

    ターボ分子ポンプ　島津製
    型式：TMP280 　（M200714A15）

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー製
    型式：TMH521P （M200707A04）
  10. ターボ分子ポンプ・大阪真空・TG800FVWB・M210108A27

    ターボ分子ポンプ　大阪真空製
    型式：TG800FVWB （M210108A27）
  11. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製
    型式：SD60V II／PMB001CM 　（M210114A16）
  12. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251・M200414A02

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-251 （M200414A02）

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