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ガス検知器 ハネウェル製(Honeywell) GasAlert MicroClip XL-「M210929A26」
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pH複合計(防水型ペンタイプ)Eutech製
型式:Testr35 シリーズ -
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製
型式:VMB-1200P-M(M190922A07) -
スピンコーター アクティブ製
型式:ACT-400AS (M201105A02) -
分光エリプソメーター 大塚電子
型式:FE-5000 (M210108A07) -
超純水製造装置 メルクミリポア製
型式:Mill-Q A10 (M190329A01) -
パーティクルカウンター リオン製
型式:KC-01B (M200702A01) -
RF電源(EB電源) 日本電子製(JEOL)
型式:JRF-750 (M210108A28) -
真空蒸着装置・日本電子(JEOL)・JEE-450D
(M201126A02) -
イオンスパッタ装置 日立製
型式:E-1010 (M201126A14) -
ピーリングテスター(剥離強度試験器)
日本ガータ製 型式:NPT-100 (M210303A04) -
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製
型式:YP21-T07 (M210108A12) -
デジタルマイクロスコープ キーエンス製
型式:VHX-100F (M210108A17) -
質量ガス分析計 インフィコン製
型式:TSPTT200 (M200714A35) -
粗さ測定器(表面粗さ測定)東京精密製
型式:SURFCOM1400D (M201105A01) -
走査型電子顕微鏡(SEM)島津製
型式:SS-550 (M210409A01) -
膜厚測定装置 SPM(走査型プローブ顕微鏡)
SII製 型式:SPA-500/SPI 3800N M200305A03 -
イオンクロマトグラフ TOA製
型式:IA-100、ICA-5450 (M210505A01) -
phメーター(水質計) 堀場ホリバ製(HORIBA)
型式:D-55 (M200714A35) -
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製
型式:UB011-5A,B MH (M210119A02)