各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製、プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能。前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性。本機は導電性試料作製コーターです。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・日立・日本電子・ALS・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ・サンユー電子
キーワード（品名）成膜装置・薄膜作成・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・SEM・Au・Al・スパッタ装置
株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
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