株式会社未来産業技術研究所
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …