株式会社未来産業技術研究所
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
真空乾燥機 アズワン AVO-310V