株式会社未来産業技術研究所
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
パルスユニット アルバック A2KH-25
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400