株式会社未来産業技術研究所
メーカー:三菱電機
型式:
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…