ターボ分子ポンプ　ファイファー製（PFEIFFER）
型式：TMU261

ターボ分子ポンプ・ファイファー（PFEIFFER）・TMU261

メーカー：ファイファー（PFEIFFER）　　型式：TMU261　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

コントローラー（TC600）が付属しています。　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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