スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
