DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
