垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
