株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…