株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]