株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03