株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…