株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …