株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25