株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…