株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP