株式会社未来産業技術研究所
メーカー:JEOL(日本電子) 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…