ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式:TMH521P (M200707A04)
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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