ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式:TMH521P (M200707A04)
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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