株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スピンコーター ミカサ製 1H-360S