ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式:TMH521P (M200707A04)
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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