ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式:TMH521P (M200707A04)
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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