plasmacvd

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター　日本レーザー電子　NL-OPC60N

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240310A07]

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]
  4. プラズマCVD装置

    プラズマCVD装置　サムコ製
    型式：PD-220 （M210320A10）

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