ionsputter

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  4. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  5. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  6. イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製
    型式：E-1030（M220408A04）

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