メーカー：キーエンス（Keyence） 型式：VE-9800SEM走査型電子顕微鏡は電子線を走査しながら試料に照射し、試料から出てきた2次元電子線を検出器で捉えてCRT上に試料の拡大像を得る装置です。通常のSEMは試料に導通がないと帯電（チャージアップ）を起こして観察に支障をきたすので、金や白金、カーボンなどの蒸着あるいはスパッタなどの前処理が必要です。一方、本機3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡は多くの試料が蒸着等の前処理無しでも観察できます。～100,000倍
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キーワード（メーカー）ニコン・日立ハイテク・日本電子・サーモフィッシャー・島津製作所・キーエンス・カールツァイス
キーワード（品名）走査型電子顕微鏡・SEM・透過型電子顕微鏡・TEM・電子線マイクロアナライザー・EPMA・FIB・SPM
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