株式会社未来産業技術研究所
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…