株式会社未来産業技術研究所
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510