株式会社未来産業技術研究所
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
