株式会社未来産業技術研究所
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 –…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
