産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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