産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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