産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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