産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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