株式会社未来産業技術研究所
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z