株式会社未来産業技術研究所
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15