株式会社未来産業技術研究所
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081 –…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
