
産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発



レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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