株式会社未来産業技術研究所
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000