株式会社未来産業技術研究所
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…