株式会社未来産業技術研究所
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…