産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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