株式会社未来産業技術研究所
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
