株式会社未来産業技術研究所
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
