産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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