株式会社未来産業技術研究所
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250