株式会社未来産業技術研究所
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…