株式会社未来産業技術研究所
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250