産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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