株式会社未来産業技術研究所
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
