株式会社未来産業技術研究所
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
