株式会社未来産業技術研究所
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
RF電源 RFPP RF10S
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7