株式会社未来産業技術研究所
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP