産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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