産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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