産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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