
産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発



スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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