
産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発



エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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