株式会社未来産業技術研究所
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M22…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
