産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年6月
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