産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

 

 

 

  1. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  1. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  2. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  3. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  8. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  9. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  10. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

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