株式会社未来産業技術研究所
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP