産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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