株式会社未来産業技術研究所
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…