株式会社未来産業技術研究所
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…