株式会社未来産業技術研究所
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…