産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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