産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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