株式会社未来産業技術研究所
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11