産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
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