産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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