産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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