株式会社未来産業技術研究所
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
