株式会社未来産業技術研究所
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
