株式会社未来産業技術研究所
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…