産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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