産業ロボット事業

産業ロボットの企画・ハードウェア設計・ソフトウェア開発

　

　

　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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