株式会社未来産業技術研究所
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…