株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本ガーター 型式:
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…