株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本ガーター 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250