株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本ガーター 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…