株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本ガーター 型式:
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S