株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本ガーター 型式:
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…