株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…