株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2