株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251