株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400