株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…