株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…