株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…