株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100