株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7