株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…