株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…