株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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クイックコーター サンユー電子 SC-701
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100