株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…