株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…