株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …