株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]