株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T