株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100