株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…