株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720