株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…