株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…