株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110