株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …