株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…