株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E