株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110