株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…