株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …