株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…