株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J