株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…