株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410