株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…