株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…