株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S