株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…