株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…