株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP