株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック(Espec)
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E