株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック(Espec)
型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…