株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック(Espec)
型式:
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510