株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック(Espec)
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…