株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック(Espec)
型式:
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F