株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ANDO安藤 型式:
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …