株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ANDO安藤 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050