株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ヤマト科学
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
熱プレス機 TSK月島プラスチック Lodestar20t
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
恒温槽 エスペック PH-402
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
パルスユニット アルバック A2KH-25
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…