1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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