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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

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  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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