1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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