1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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