1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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