1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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