1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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