1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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