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  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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