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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 恒温恒湿槽

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  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

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2026年4月
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