1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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