1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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