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  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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