1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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