1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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