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  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
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  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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