1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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