1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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