1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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