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  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

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  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

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  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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