1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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