1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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