1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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