1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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