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  5. イオンコーター・日立・E-1010

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  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年2月
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