1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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