1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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