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  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

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  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

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  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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