1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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