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  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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