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  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

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  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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