1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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