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  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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