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  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年1月
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