1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年12月
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