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  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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