1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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