1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031