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  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

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  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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