1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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