メーカー：ANELVAアネルバ（ALCATELアルカテル） 型式：ASM110 TURBO CL
検出感度：2×10-11～1×10-5atm・cm3/s［He] 最大ポート圧力：10-4mbar
排気系：ターボ分子ポンプ テストポート口：NW25KF
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キーワード（メーカー）インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード（品名）リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体
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