株式会社未来産業技術研究所
メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z