株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立
型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…