株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立
型式:
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…