株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立
型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…