株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
RF電源 RFPP RF10S
マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
パルスユニット アルバック A2KH-25
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200