多関節産業ロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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