多関節産業ロボット

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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