多関節産業ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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