多関節産業ロボット

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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