多関節産業ロボット

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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