多関節産業ロボット

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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