多関節産業ロボット

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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