多関節産業ロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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