多関節産業ロボット

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  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年6月
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