多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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