多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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