多関節産業ロボット

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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