多関節産業ロボット

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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