多関節産業ロボット

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年11月
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