多関節産業ロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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