多関節産業ロボット
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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