多関節産業ロボット

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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