多関節産業ロボット

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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