多関節産業ロボット

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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