多関節産業ロボット

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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