多関節産業ロボット

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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