多関節産業ロボット

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. RF電源　RFPP　RF20S
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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