多関節産業ロボット

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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