多関節産業ロボット

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年8月
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