多関節産業ロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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