多関節産業ロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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