多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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