多関節産業ロボット

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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