多関節産業ロボット

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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