多関節産業ロボット

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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