多関節産業ロボット

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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