多関節産業ロボット

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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