多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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