多関節産業ロボット

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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