多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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