多関節産業ロボット

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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