多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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