多関節産業ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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