多関節産業ロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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