多関節産業ロボット

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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