多関節産業ロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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