多関節産業ロボット

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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