多関節産業ロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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