多関節産業ロボット

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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