多関節産業ロボット

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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