多関節産業ロボット

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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