多関節産業ロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
2026年5月
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