多関節産業ロボット

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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