多関節産業ロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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