多関節産業ロボット

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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