多関節産業ロボット

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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