多関節産業ロボット

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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