多関節産業ロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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