多関節産業ロボット

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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