多関節産業ロボット

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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