多関節産業ロボット

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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