多関節産業ロボット

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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