多関節産業ロボット

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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