多関節産業ロボット

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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