多関節産業ロボット

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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