多関節産業ロボット

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
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