株式会社未来産業技術研究所
電気計測器 オシロスコープ
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
