オプティカルマルチメーター

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  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

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  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
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