フォーカスイオンビーム

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. デジタル内視鏡・TESLONG・NTS300

    デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年7月
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