フォーカスイオンビーム

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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