フォーカスイオンビーム
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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デジタル内視鏡(ハンドヘルド産業用ボアスコープ)<…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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