フォーカスイオンビーム

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年4月
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