真空蒸着装置

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年7月
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