真空蒸着装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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