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真空蒸着装置
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超音波発振器 カイジョー製<br>型式:4341i(M190211A01)
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RF電源(EB電源) 日本電子製(JEOL)<br>型式:JRF-750 (M210108…
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パスボックス クリーンルーム用
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カーボンコーター 日本電子製(JOEL)<br>型式:JEC-520
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クライオコンプレッサー 鈴木商館製<br>型式:C300K (M201116A01)
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ターボ分子ポンプ ライボルト製(Leybold)<br>型式:TW70H (M200…
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電子電圧計(雑音電圧測定器)ナショナル製<br>型式:VP-9680A (M20…
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ロータリーポンプ アルバック製<br>型式:GLD-136A (M201204A04)
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光学定盤(防振台)日本防振工業製<br>型式:RB-1513CS
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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クリーンルーム用掃除機 日立製<br>型式:CV-103E
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…