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真空蒸着装置
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電子線マイクロアナライザー(EPMA)島津製<br>型式:EPMA-1600 (M…
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RF電源(プラズマ電源)アステック製<br>型式:ARF-1053 (M210320A…
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ウエハー剥離装置 SemiconductorEquipmento製<br>型番:4800 (M19…
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超音波ボルト軸力計(Bolt Tension Monitor) <br>DAKOTA製 型番:…
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ピーリングテスター(剥離強度試験器)<br>日本ガータ製 型式:NPT…
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光学定盤(防振台)日本防振工業製<br>型式:RB-1513CS
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ボルトメーター 菊水電子製<br>型式:TOS8650 (M181122A33)
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粗さ測定器(表面粗さ測定)東京精密製<br>型式:SURFCOM1400D (M20…
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デジタル温湿度計/露点計 佐藤商事製(Lutron)<br>型式:HT-305
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RF電源(EB電源) 日本電子製(JEOL)<br>型式:JRF-750 (M210108…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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クリーンルーム用掃除機 日立製<br>型式:CV-103E
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スクロールポンプ エドワーズ製(Edwards)<br>型式:DS35i
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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電力増幅器(Power Amplifier)横河電機製<br>型式:705810 (M2011…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…