原子間力顕微鏡

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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