原子間力顕微鏡

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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