原子間力顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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