原子間力顕微鏡

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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