原子間力顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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