原子間力顕微鏡

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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