原子間力顕微鏡

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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