原子間力顕微鏡

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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