原子間力顕微鏡

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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