原子間力顕微鏡

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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