原子間力顕微鏡

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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