原子間力顕微鏡

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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