原子間力顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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