原子間力顕微鏡

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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