原子間力顕微鏡

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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