原子間力顕微鏡

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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