原子間力顕微鏡

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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