原子間力顕微鏡

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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