原子間力顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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