原子間力顕微鏡

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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