原子間力顕微鏡

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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