原子間力顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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