原子間力顕微鏡

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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