原子間力顕微鏡

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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