原子間力顕微鏡

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  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年6月
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