原子間力顕微鏡

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  7. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

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  10. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B

  3. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  4. ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…

  5. 液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST

  6. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

  7. パルスユニット アルバック A2KH-25

  8. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  9. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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