原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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