原子間力顕微鏡

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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