原子間力顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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