原子間力顕微鏡

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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