原子間力顕微鏡

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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