原子間力顕微鏡

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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