原子間力顕微鏡

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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