原子間力顕微鏡

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  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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