原子間力顕微鏡
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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