原子間力顕微鏡

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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