原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年1月
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