原子間力顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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