原子間力顕微鏡

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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