原子間力顕微鏡

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年2月
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