原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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