原子間力顕微鏡

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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