原子間力顕微鏡

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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