原子間力顕微鏡

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
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