原子間力顕微鏡

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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