原子間力顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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