原子間力顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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