原子間力顕微鏡

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
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