原子間力顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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