原子間力顕微鏡

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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