原子間力顕微鏡

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
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