原子間力顕微鏡

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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