原子間力顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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