原子間力顕微鏡

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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