原子間力顕微鏡

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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