原子間力顕微鏡

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年5月
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