原子間力顕微鏡

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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