原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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