原子間力顕微鏡

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  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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