原子間力顕微鏡

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年2月
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