原子間力顕微鏡
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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