原子間力顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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