原子間力顕微鏡

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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