原子間力顕微鏡

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
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