原子間力顕微鏡

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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