原子間力顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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