原子間力顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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