原子間力顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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