原子間力顕微鏡

  1. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  2. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イオンコーター・日立・E-1010

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  4. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…

  6. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  7. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…

  9. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  10. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  1. 検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …

  2. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  3. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  5. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  6. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  7. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  10. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

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