原子間力顕微鏡

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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