原子間力顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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