原子間力顕微鏡

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年1月
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