原子間力顕微鏡

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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