原子間力顕微鏡

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
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