原子間力顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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