原子間力顕微鏡

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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