原子間力顕微鏡

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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