原子間力顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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