原子間力顕微鏡

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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