原子間力顕微鏡

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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