原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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