原子間力顕微鏡

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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