原子間力顕微鏡

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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