原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年11月
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