原子間力顕微鏡

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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