原子間力顕微鏡

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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