原子間力顕微鏡

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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