原子間力顕微鏡

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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