原子間力顕微鏡

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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