原子間力顕微鏡

  1. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  3. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  4. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  5. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  6. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  7. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  8. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  9. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  10. スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…

  1. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…

  3. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  4. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

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