原子間力顕微鏡

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年1月
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