原子間力顕微鏡

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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