原子間力顕微鏡

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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