原子間力顕微鏡

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年11月
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