原子間力顕微鏡

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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