原子間力顕微鏡

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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