原子間力顕微鏡

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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