原子間力顕微鏡

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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