原子間力顕微鏡

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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