原子間力顕微鏡

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年5月
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