原子間力顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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