原子間力顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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