電子顕微鏡

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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