粒度径分布測定装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年10月
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