粒度分布計
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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RF電源 RFPP RF20S
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ヒーター式インキュベーター PHC MIR-H163-PJ
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
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