粒度分布計

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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