ペースト塗布ロボット

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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