ペースト塗布ロボット

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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