バイオクリーンベンチ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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