バイオクリーンベンチ

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年6月
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