バイオクリーンベンチ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年10月
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