バイオクリーンベンチ

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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