マスクアライナー
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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