ペースト塗布ロボット

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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