プラズマクリーナー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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