フォトレジスト

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年7月
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