フォトレジスト

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2024年9月
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