フォトレジスト

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
2025年7月
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