フォトレジスト

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年7月
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